藍寶石隔膜真空計 SPG5/6/7的受壓部采用了高耐腐蝕性、高耐熱性且機械特性優異的單晶體藍寶石，通過檢測靜電容量，即使在高溫檢測環境下也能實現高的檢測重復性。
通過*的信號處理技術實現了溫度特性、直線性等誤差小的檢測，由微加工技術而形成的藍寶石傳感器實現了小型、輕量化的自加熱型隔膜真空計。

提高品質

真空計多數在有大的壓力環境下使用，是容易因各種原因引起零點漂移的產品。真空計的零點漂移會影響控制量，從而會影響終產品的品質。藍寶石隔膜真空計采用了零點不易漂移的構造。

提高生產性

減少了設備的停機時間。備有用于減少停機避免時間浪費的功能。

山武azbil藍寶石隔膜真空計

概要

藍寶石隔膜真空計SPG系列采用了藍寶石靜電容量式圧力傳感器是具有高精度、高可靠性、高耐蝕性的小型?輕量的隔膜真空計主要用于半導體工藝流程

特長

采樣高付腐蝕性、高時熱性的單品體藍寶石感壓部材料采用具有高付蝕性、高熱性、機械特性優異的單品體藍寶石,通過靜電容量檢測方式,即使在高溫檢測環境下也可實現高的檢測重復性

檢測誤差小

采用*的信號處理技術實現了溫度特性、直線性等誤差小的檢測

?小型/輕量的本體

通過采用*的足微機械加工技術形成的藍寶石傳感器、實現了大幅度的小型/輕量化簡單的零點調整功能通過Auto零點調整開關或 Up/Down零點調整開關,可簡單地進行零點調整

?機器狀態顯示

通過LED足示,可一目了然地判斷產品的狀態(正常、預熱中、異常)

·迅速啟動和穩定的溫度控制

通過采用了微處理器的數字PD運算對加熱器進行溫度控制實現了迅速啟動和穩定的溫度控制

·智能編程器軟件包對應

智能編程器軟件包對應(另售SLP-SP5J70)可方便地進行監視和參數的讀寫

符合CE

符合C指令、符合CE標識。(適合規格:EN61326、EN55011)

如有需要詳情，請見：山武azbil藍寶石隔膜真空計